Neues Herstellungsverfahren für CMOS-Sensoren

Die Forscher am Duisburger Fraunhofer IMS haben den Sensoren mit Hilfe eines Filtersystems das Farbsehen beigebracht, erklärt Holger Vogt, stellvertretender Leiter des IMS. Die Filter bestehen aus Polymeren in Rot, Grün und Blau. Jeder Bildpunkt des Sensors wird mit einer der Grundfarben beschichtet.

Das geschieht, indem eine Maschine eine dünne Polymerschicht auf die Sensoren aufbringt. Dann wird eine Maske darüber gelegt, die an den gewünschten Pixeln lichtdurchlässig ist. Der Sensor wird dann mit UV-Licht bestrahlt und so das Polymer ausgehärtet. Anschließend wird das überflüssige Material einfach abgewaschen. Außerdem erhält jedes Pixel eine eigene Linse aus einem Polyimid. Dadurch wird die Lichtempfindlichkeit des Bildsensors auf fast das Doppelte erhöht. Das Herstellungsverfahren wollen die Fraunhofer-Forscher auf der Fachmesse Vision im November in Stuttgart vorstellen.

Eingesetzt werden sollen die so hergestellten Sensoren in erster Linie in Autos. Diese werden künftig über viele Assistenzsysteme verfügen, die den Fahrer beispielsweise vor Fahrzeugen im toten Winkel warnen, ihm beim Einparken helfen oder auf Verkehrsschilder aufmerksam machen. Ein anderes Einsatzgebiet könnte im medizinischen Bereich die Endoskopie sein.

Die CMOS-Sensoren, die heutzutage in Industrie- und Spezialkameras eingebaut werden, können - im Gegensatz zu denen in Digitalkameras - keine Farben erkennen.