Chipmaschinen-Hersteller: ASML liefert sechs EUV-Belichtungsmaschinen an Intel aus

ASML hat bekanntgegeben, sechs Belichtungsmaschinen an Intel ausgeliefert zu haben. Der niederländische Hersteller von Chipmaschinen rüstet Intel damit für die Belichtung von Siliziumscheiben (Wafern) mit extremer ultra-violetter Strahlung aus. Die EUV-Lithographie stellt in Zukunft das übliche Verfahren für besonders moderne Prozessoren, Systems-on-a-Chip und GPUs dar.

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Sechs Maschinen sollen an Intel gehen. (Bild: ASML)

Der im April 2015 abgeschlossene Vertrag zwischen ASML und Intel sieht eine Lieferung von mindestens 15 Belichtungsmaschinen des Typs NXE:3350B vor, welcher eine höhere Verarbeitungsgeschwindigkeit aufweist als der Vorgänger NXE:3300B. Die sechs neuen Systeme sollen im dritten Quartal 2015 bei Intel eintreffen. ASML plant mit den NXE:3350B-Maschinen eine Rate von rund 1.000 belichteten Wafern pro Tag - ein Bruchteil dessen, was mit Immersionslithographie vom Band läuft.

Um das EUV-Geschäft weiter voranzutreiben, hatte ASML bereits 2012 den Laser-Entwickler Cymer für knapp zwei Milliarden US-Dollar übernommen. Kürzlich eröffnete der niederländische Chipausrüster eine neue Fabrik für weitere EUV-Belichtungsmaschinen, das Werk soll 24 Systeme im Jahr 2017 ausstoßen. Vier NXE:3350B sollen beim Auftragsfertiger TSMC stehen, der damit zumindest vorerst einen Vorsprung vor Intel hätte.

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Eine EUV-Belichtungsmaschine des Typs NXE:3350B (Bild: ASML)

Bis dato fertigt Intel seine Prozessoren mit Immersionslithographie, für das 7-nm-FinFET-Herstellungsverfahren gab sich Halbleiterchef Mark Bohr ebenfalls optimistisch: Man werde versuchen, Chips in diesem Prozess noch ohne EUV-Maschinen zu fertigen. Hintergrund sind die enormen Kosten, da die ultra-violette Bestrahlung im Vakuum erfolgen muss.

Andere Hersteller nutzen die EUV-Technik bereits rudimentär, IBM zeigte einen ersten Testchip im 7-nm-Verfahren. Bis zur Serienreife dürfte es aber bei allen großen Fertigern bis mindestens 2017, eher 2018 dauern.